ZETA Instruments - 3D表面形状測定装置
ZETA-20 |
ZETA-200 |
ZETA-300 |
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ZETA Instrumentsの3D表面形状測定装置は
Z-Dot技術（特許）により今まで非常に測定が困難だった多くのサンプルを、非接触で前処理を必要とせず簡単に、そして迅速に測定することができます。
滑面から凹凸の大きな表面の粗さ測定、多層膜の三次元形状測定、非常に透明なサンプルや表裏面の測定が可能であり、天然色での３Ｄマッピングも可能です。
Zステージに取り付けられたZ-Dot光学サブシステムと垂直位置からのイメージチャプターをコントロールすることにより、わずか一分程度で高さ、粗さ、サイズ、ピッチ等の測定結果を得ることが可能です。
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