3D表面あらさ測定 三次元表面形状測定装置 ZETA Instruments ZETA-200
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Zeta-200 Automated 3D Optical Profiler

Zata-200は最新技術を搭載し、3Dイメージングやフレキシブルな測定をオートメーション化し、コストパフォーマンスに優れた光学式表面形状測定装置です。
Zeta社のフォーカスマップ技術は、天然色イメージングと表面形状測定が可能であり、製品検査等にご利用いただけます。
Zeta-200は高低差、feature volume、寸法、粗さに関するデータを自動的に集積することにより、必要なデータを取得し、製造過程の最適化のお手伝いをいたします。

代表的なシステム構成

• 5x、10x、20x、50x、100x 対物レンズ

• 1/3”CCDカメラ；0.5x結合レンズ

• 30mm自動稼働Zステージ

• 200mm×200mm自動稼働X,Yステージ

• Zeta 3D ソフトウェア

3D測定

• 傾き、回転、ズーム、フィルタリング

• Feature volume 計算

2D測定

• Feature size、直径、面積

• パターンピッチ、標準偏差

• 範囲表面粗さ

• 範囲高さ (範囲平均、ステップ高さ)

形状測定

• 高低差

• 粗さパラメータ

• 多方向断面

• 平均化測定 (カーソル上)

• 指定範囲間測定

• 傾斜及び波形保障

• Wafer Die Gridシーケンスオプション

• SPC（統計的工程管理）のためのオートメーションデータとイメージ転送

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